진공증착-박막.진공
진공증착 장비를 이용한 박막증착 실험을 통하여 진공 및 진공장비의 원리를
이해하고, 박막의 제조와 분석의 통해서 진공과 박막의 기본개념을 이해한다.
박막 (Thin film) ?
절연체, 반도체, 금속등의 무기물이나 고분자같은 유기물로
이루어진 막으로, 두께(t) 1㎛ 이하인 것을 박막이라 한다
박막 형성 공정
t ≡ 100Å ∼ 수십 ㎛
t ≤ 1㎛ : Thin film
T > 1㎛ : Thick film
박막 형성 공정
t ≡ 100Å ∼ 수십 ㎛
t ≤ 1㎛ : Thin film
T > 1㎛ : Thick film
